... molecular beam ion source 分子束离子源 focused beam ion source 聚焦离子源 ; 聚焦束离子源 IBIS intense beam ion source 强流离子源 ...
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In this paper, Development of liquid metal ion source for nanometer focused ion beam system is introduced.
叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备。
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