· 真空交换舱(Load Lock Chamber)：玻璃基版被加载第一个舱体，抽成第一级的真空，同时借此位置借由机械帮浦排除一些可能的污染，以便进行第二级真空舱的进入准备...
基于16个网页-相关网页
此次通过对放置晶圆的运送盒、搬运机器人、以及 负荷固定舱 （ load lock chamber ）的气流控制等采取独自的措施，能够自动运送薄晶圆。
load-lock chamber 加载互锁真空室
load lock chamber
负载锁舱
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
The load lock chamber may be provided with at least two mutually distinct object support positions.
所述装载锁闭装置室设有至少两个彼此不同的物体支承位置。
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动