定义 中文名称： 机械应力缺陷 英文名称： mechanical stress defect 定义： 晶片加工时，在其表面引入的机械应力缺陷。经腐蚀后可显现出该种缺陷的痕迹。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；元素半
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mechanical stress defect
机械应力缺陷
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