Micro actuators 微执行器 ; 执行器
flexible micro actuators 柔性微致动器
ER flexible micro-actuators 电流变柔性微致动器
micro-machined actuators 微机械致动器
Micro-patterning of PZT thin film is one of the key technologies in the fabrication of micro-sensors and micro-actuators made of PZT films.
PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一。
This mechanism can be replaced by micro actuators or other control strategies in the future.
在将来，这个机械装置也许会被其他微执行器或者控制策略代替。
As a kind of MEMS actuators, micro mechanical radio frequency switch is a representational structure of micromechanical technology, and basis of many micro mechanical components.
微机械射频开关作为MEMS执行器的一种，是微机械技术中的一类有代表性的结构，是很多微机械器件的基础。
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