可分析元素范围：Be4~U92 能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV 轻元素分辨率：C-Ka优于58eV，F-Ka优于65eV 谱仪稳定性：1-100kCPS，谱峰漂移小于1eV，并且定量结果始终保持稳定。
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