网状阴极法在碳钢表面沉积钽薄膜 - TNMSC 关键字: 网状阴极溅射; 空心阴极效应;钽薄膜[gap=1034]Key words: net-shape cathode sputter; effect of hollow cathode; tantalum thin film
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net shape cathode sputter 网状阴极溅射
the net shape cathode sputter 网状阴极溅射
net-shape cathode sputter
网状阴极溅射
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