...结离子掺杂剂引入途径正在深入研究中，一些极有希望的技术方案，如等离子体浸没掺杂（PIIID）、投射式汽体浸没激光掺杂（P-GILD）、快速汽相掺杂（RVD）和离子淋浴掺杂（ISD）等超浅结离子掺杂技术，可望不久会进入生产领域。
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