应用化学滤网去除某晶圆厂黄光区洁净室的氨气.pdf - docin.com豆丁网 如 2007 年黄光区之 NH 3 浓度需控制在 0.75ppb 以下。表4 中的AMCs 之浓度 单位为兆分之一（pptm, parts per tril- lion molar），也就是1×10 -12 。 二、 AMCs 对晶圆厂机台 lens 及 mask haze之影响
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parts per trillion molar
万亿摩尔分位数
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