reactive and non-reactive sputtering
热蒸镀式(Thermal evaporation) 电子束蒸镀及离子助镀 反应式和非反应式溅镀(Reactive and non-reactive sputtering) 溶胶技术(Sol-gel technology) 电化学沈积法 (Electrodeposition)
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reactive and non-reactive sputtering
反应性和非反应性溅射
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