... banking practice 银行业务 reactive sputter deposition 反应溅射沉积 endosteal implant 骨内种植体 ...
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Reactive sputter deposition and anneal are the main processes of the fabrication. The main process parameters are enumerated, and the effect of process parameters on VO2 quality is also discussed.
本文主要研究了反应溅射制备二氧化钒薄膜的工艺方法,分析了各个控制参数对薄膜质量的影响,并给出了工艺参数。
参考来源 - VO·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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