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reactive sputter deposition

网络释义专业释义

  反应溅射沉积

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短语

reactive sputter deposition technology 反应溅射沉积工艺

  • 反应溅射 - 引用次数:2

    Reactive sputter deposition and anneal are the main processes of the fabrication. The main process parameters are enumerated, and the effect of process parameters on VO2 quality is also discussed.

    本文主要研究了反应溅射制备二氧化钒薄膜的工艺方法,分析了各个控制参数对薄膜质量的影响,并给出了工艺参数。

    参考来源 - VO

·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress

双语例句

  • It can be used for single ion implantation, ion beam mixing, single ion or reactive ion beam sputter-deposition and ion beam enhanced deposition.

    用于离子注入离子束混合,单离子反应离子束溅射以及离子束增强淀积。

    youdao

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- 来自原声例句
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