欢迎莅临虎踞龙蟠BBS站 - 沟通心灵，帖近你我 -- 精华区文章阅读 关键词 台阶测量 触针 片簧支承 模糊控制 [gap=3750]KEY WORDS：Step height measurement,Stylus,Leaf-spring bearing,Fuzzy cont
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step height measurement
台阶高度测量
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Step height measurement instrument, was one of the LSI test equipment, and the step height signal can be acquired using LVDT transducer.
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的，其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。
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