表面缺陷清理(surface defect removal) 清除危害产品质量的表面缺陷，是提高产品质量、降低生产成本、增加经济效益的一项有效措施。
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surface defect removal
表面缺陷去除
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Slurry performance for CMP can be determined by several output parameters including removal rate, global planarity and surface defect.
抛光液的优劣主要有抛光率，平坦性以及缺陷的数量等几个参数反应。
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