... Total index variation 总分度变动量 total thickness variation 总厚度变动 Total composite variation 总度量中心距变动量 ...
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总厚度变化（total thickness variation） （TTV） ：在厚度扫描或一系列点的厚度测量中，所测晶 片的最大厚度与最小厚度的绝对差值。
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...仪器可以表征粗糙度、形貌、形状、表面起伏、水平方向的尺寸、膜厚、弯曲和翘曲、总厚度波动（TTV, total thickness variation）或者样品表面的机械性能。测量结果可以跨越九个数量级，实现从纳米级到米级的测量范围。
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总厚度变化
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参考来源 - 硅晶片内圆锯切过程的振动研究
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总厚度变动
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