uv-based nanoimprint lithography
...四 雷射辅助式奈米压印技术[15] 紫外光硬化奈米压印技术 如图五所示为一紫外光奈米压印微影（UV-based NanoImprint Lithography, UV-NIL）制程，主要系 利用具有高度透光性及高强度之石英玻璃为模具材料，设计及制作图案做为母模(Mold)使用...
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uv-based nanoimprint lithography
基于uv的纳米压印光刻
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For the removal of residual layer after template is released during nanoimprint lithography, a new UV-nanoimprint technology without residual layer based on photolithography mask was proposed.
针对纳米压印光刻技术中压印脱模后的留膜去除问题，提出了一种基于光刻版的无留膜紫外纳米压印技术。
youdao
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