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晶圆片倒片系统
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The wafer transfer system (WTS) is the special equipment in the wafer production line, and it is used for transferring wafers automatically.
晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。
参考来源 - 六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试
晶片传送系统
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