关 键 词 : Si (111) ;ZnO 薄 膜 ;等 离 子 增 强 化 学 气 相 沉 积 ;反 射 光 谱 [gap=968]Key words :Si (111) substrate ;ZnO t hin films ; PECVD ;reflection spectra
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zno t hin films
Zno薄膜
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