membrane thickness control
基于FPGA技术的膜厚测量装置的研究121-精品毕业设计,尽在996设计 关键词：膜厚测量 智能控制 FPGA [gap=832]Keywords:measuring film，membrane thickness control ，FPGA
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membrane thickness control
膜厚控制
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In the research of the membrane thickness control system of IBS plating machine, as having adopted modern detection means, measure precision improves greatly.
在离子束溅射镀膜机的膜厚控制系统的研究中，由于采用了现代检测手段，使测量精度大大提高。
youdao
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