3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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出现了各种新技术的光可变衰减器，包括MEMS（微型机电系统，Micro Electro-Mechanical System）技术、液晶技术、波导技术和聚合物材料光栅等。
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3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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Micro Electro Mechanical System 微机电系统 ; 微电子机械系统 ; 微型机电系统
Micro-Electro-Mechanical System 微电子机械系统 ; 微机电系统 ; 微电机系统
mems-micro -electro- mechanical system 微电子机械系统
micro-electro-mechanical system design 微机电系统设计
Micro Electro- Mechanical System 微机电技术
MEMS Micro Electro-Mechanical System 微机电系统
Four fundamental manufacturing technologies namely bulk micromachining, surface micromachining, moulding and wefar bonding are introduced for Micro Electro Mechanical System(MEMS).
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。
Micro Electro Mechanical System (MEMS) is a course of new technology rising in recent years. Micro planetary gear reducer is the important part in MEMS.
微机电系统(MEMS)是近年来兴起的一门新兴技术，微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。
A hair cell vector hydrophone based on micro electro mechanical system (MEMS) was presented in this paper.
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术。
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