X光深层光刻
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Deep X-Ray Lithography 刻术
moving mask deep X-ray lithography 移动X射线光罩微影术
x-ray deep lithography
x射线深光刻
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The fabrication of X-ray stencil silicon mask and its application in X-ray deep lithography are presented in this paper.
阐述了X射线镂空硅掩模的研制及其在同步辐射深层光刻中的应用。
youdao
The fabrication procedure of the mask and results of the deep X ray lithography are given.
给出了该掩模设计制作工艺过程及深x射线光刻结果。
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