Micro Mechanical Machining 微机械加工 Micro-Electro-Mechanical System 微电子机械系统 MEMES器件能够使用静电技术将应用电压转换成物理动作。静电方法尤其适用于硬盘驱动器，因为它不涉及在磁盘表面产生电磁场。
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Micro Electro Mechanical System 微机电系统 ; 微电子机械系统 ; 微型机电系统 ; 技术
Micro Electro-Mechanical System 系统技术 ; 电系统 ; 微型机电系统 ; 微机电系统技术
mems-micro -electro- mechanical system 微电子机械系统
micro-electro-mechanical system design 微机电系统设计
Micro Electro- Mechanical System 机电技术 ; 微机电技术
Micro-electro mechanical system 微机电一体化系统
Microarray analysis technology is a novel and rapidly developing analytical method in recent years. It is an integrated product of multidiscipline knowledge such as micro-electro-mechanical system (MEMS), biochemistry, analytical chemistry, computer science, and so on.
微阵列分析技术(microarray analysis)是近年来迅速发展的一种新兴的分析方法,主要涉及到微机电系统(MEMS)、生物化学、分析化学和计算机科学等多种学科,是学科交叉的产物。
参考来源 - 阵列式高通量细胞培养芯片设计与制作As one of the most important micro-fluid power sources of micro-electro-mechanical system, valveless micropump has a very broad application prospects in many different fields.
无阀微泵作为微机电系统中一类重要的微流体动力源,在众多领域具有非常广阔的应用前景。
参考来源 - 无阀微泵多场耦合数值模拟及降价建模·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
Potting is a key step for the packaging of high-g micro-electro-mechanical system(MEMS) accelerometer.
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。
Micro adhesive bonding technology shows great potential in the assembly of micro-electro-mechanical system (MEMS) products.
微胶接技术非常适用于微机电系统产品的自动化装配过程。
A method is presented to manipulate microspheres using liquid bridge forces to overcome the influence of adhesion during micro-electro-mechanical system assembly.
为了克服粘着对微机电系统装配的影响，提出了一种利用液体桥力实现微球转移操作的方法。
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