微机电系统的含义 微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)即微电子机械系统或微机电一体 化系统，它是指可批S制作的，集微型传感器、微执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、 通...
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1．1．1 MEMS的概念和基本特征一、MEMS的概念 MEMS是微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System）的英文缩写，是指采用微机械加工技术可以批量制作的，集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等...
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...号处理装置、接口、通信等为一体，几何尺寸小于mm3的微型机电一体化产品，也称微型机电系统（micro electro mechanical system，MEMS），通常用纳米、微米或毫米级单位进行度量，具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。
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...在轨动态热特性分析 针对纳卫星热流密度不断升高的发展趋势,介绍了一种基于微机电技术(MEMS,Micro Electro Mechanical Systems)的泵驱动单相流微槽道冷却系统.
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Micro-Electro-Mechanical System 微电子机械系统 ; 微机电系统 ; 型以及基于微机电系统 ; 微电机系统
Micro Electro-Mechanical System 系统技术 ; 电系统 ; 微型机电系统 ; 微机电系统技术
mems-micro -electro- mechanical system 微电子机械系统
micro-electro-mechanical system design 微机电系统设计
Micro Electro- Mechanical System 机电技术 ; 微机电技术
Micro-electro mechanical system 微机电一体化系统
A hair cell vector hydrophone based on micro electro mechanical system (MEMS) was presented in this paper.
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术。
Micro Electro Mechanical System (MEMS) is a course of new technology rising in recent years. Micro planetary gear reducer is the important part in MEMS.
微机电系统(MEMS)是近年来兴起的一门新兴技术，微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。
MEMS (micro electro mechanical system) is a new field which has a lot of advantages: small volume, light weight, low energy consumption, fast response, big batch and low cost etc.
微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。
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