对微系统和微探针而言，最重视微结构在运动时结构间 微小间隙所造成的作用力，即薄膜阻尼(squeeze film damping)。1995 年 Xu 等人[6]研究薄膜阻尼对原子力 显微镜探针的影响。
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squeeze-film damping plate 挤压膜阻尼板
squeeze film damping effect 空气压膜阻尼效应
air squeeze film damping effect 空气压膜阻尼效应
Controllable Squeeze Film Damping Bearing 可控挤压油膜阻尼器
Squeeze-film air damping 压膜空气阻尼
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The squeeze film damping effects on beam shaped micro resonator was studied.
研究了在微梁谐振器结构中，梁作高阶振动时挤压气体薄膜的阻尼效应。
According to solving the dynamic equation, the effect of the air squeeze film damping on the switching time is given.
通过求解动力学方程，给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响。
This paper presents theoretical analysis for the effect of air squeeze film damping on a micro-opto- electro -mechanical systems (MOEMS) optical switch with a slant lower electrode.
从基于微机械光电系统（MOEMS）的倾斜下电极扭臂式光开关出发， 求解雷诺方程， 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。
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