Micro Electro Mechanical System 微机电系统 ; 微电子机械系统 ; 微型机电系统 ; 技术
Micro-Electro-Mechanical System 微电子机械系统 ; 微机电系统 ; 型以及基于微机电系统 ; 微电机系统
Micro Electro-Mechanical System 系统技术 ; 电系统 ; 微型机电系统 ; 微机电系统技术
mems-micro -electro- mechanical system 微电子机械系统
micro-electro-mechanical system design 微机电系统设计
Micro Electro- Mechanical System 机电技术 ; 微机电技术
Four fundamental manufacturing technologies namely bulk micromachining, surface micromachining, moulding and wefar bonding are introduced for Micro Electro Mechanical System(MEMS).
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。
Micro adhesive bonding technology shows great potential in the assembly of micro-electro-mechanical system (MEMS) products.
微胶接技术非常适用于微机电系统产品的自动化装配过程。
Micro Electro Mechanical System (MEMS) is a course of new technology rising in recent years. Micro planetary gear reducer is the important part in MEMS.
微机电系统(MEMS)是近年来兴起的一门新兴技术，微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。
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