3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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出现了各种新技术的光可变衰减器，包括MEMS（微型机电系统，Micro Electro-Mechanical System）技术、液晶技术、波导技术和聚合物材料光栅等。
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出现了各种新技术的光可变衰减器，包括MEMS（微型机电系统，Micro Electro-Mechanical System）技术、液晶技术、波导技术和聚合物材料光栅等。
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3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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Micro Electro Mechanical System 微机电系统 ; 微电子机械系统 ; 微型机电系统 ; 技术
Micro-Electro-Mechanical System 微电子机械系统 ; 微机电系统 ; 型以及基于微机电系统 ; 微电机系统
mems-micro -electro- mechanical system 微电子机械系统
micro-electro-mechanical system design 微机电系统设计
Micro Electro- Mechanical System 机电技术 ; 微机电技术
Micro-electro mechanical system 微机电一体化系统
Four fundamental manufacturing technologies namely bulk micromachining, surface micromachining, moulding and wefar bonding are introduced for Micro Electro Mechanical System(MEMS).
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。
Micro Electro Mechanical System (MEMS) is a course of new technology rising in recent years. Micro planetary gear reducer is the important part in MEMS.
微机电系统(MEMS)是近年来兴起的一门新兴技术，微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。
A hair cell vector hydrophone based on micro electro mechanical system (MEMS) was presented in this paper.
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术。
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